반도체디스플레이

세계 최고 수준의 완벽한 청정 공기 솔루션

반도체전자 제조 공정에서 청정등급은 매우 중요합니다. 먼지와 수분과 같은 오염원을 모두 제거하고 실내 온도를 조절해야 합니다. 터보윈의 터보블로워와 터보컴프레서는 Industry 4.0 시대에 반도체전자산업에서 요구되는 완벽한 청정 공기를 똑똑하면서도 강력하게 제공하는데, 심지어 편리하고 정교하기까지 한, 대한민국 반도체전자산업에서 매우 필수적인 첨단산업장비입니다. 이러한, 터보윈의 역량은 현재 삼성전자와 SK하이닉스를 비롯한 대한민국과 전세계 전자 반도체 디스플레이 선도기업들이 모두 앞다투어 터보윈의 터보제품을 도입함으로써 그 우수성을 입증하고 있습니다.

극강의 압축공기순도

반도체 산업은 컴퓨터 칩을 소잉하고 세척한 후 압축 공기와 진공 시스템을 통해 칩/보드에 패킹하고 칩을 냉각하는 것과 같은 공정에서 중요한 요소인 압력공기에 대한 세계 최고 수준의 매우 까다로운 기준을 요구하고 있습니다. 모두 극도의 순도를 필요로 하며, 최고 품질의 생산을 보장하기 위하여, 공기 중에서 어떠한 오염 물질도 허용하지 않습니다. 터보윈의 터보블로워와 터보컴프레서는 100% 순도의 압력공기를 제공하는 토탈 솔루션입니다. 이러한 극강의 압축공기순도에 세계 최고로 우수한 에너지절감효율이 결합하게 되면 최적의 생산비용절감과 품질달성 그리고 사용자편의성의 세 가지 목표가 모두 달성될 수 있습니다.

반도체 전자 산업에서의 압축 공기 적용 사례는 다음과 같습니다.

냉각용 공기

클린 룸에서 제품을 냉각하는 것은 전자 반도체 디스플레이 산업의 플랜트에서 가장 중요한 청정 공기 응용 분야입니다.

클린룸

클린룸은 전자 반도체 디스플레이 산업 플랜트의 중심부입니다. 실내 온도와 습도를 제어할 수 있을 뿐만 아니라 수분, 먼지 또는 기타 오염 물질을 제거해야 합니다.

패터닝 & 포토리소그래피

패터닝 또는 포토리소그래피는 웨이퍼에 특정 패턴을 각인하는 과정입니다.

퍼징

오염을 방지하기 위해 진공 펌프와 벤투리 펌프는 오일이 전혀 포함되지 않은 100% PURE AIR로 퍼징해야 합니다.

폐수처리

전자 반도체 디스플레이 산업 플랜트의 제조 공정에 사용되는 물은 외부 방출 전에 깨끗하게 처리해야 합니다.

계측기 & Air Tool

압축 공기는 분류, 포장, 테스트, 취급, 조립, 에칭 및 기타 기기 또는 공압 분야에 사용됩니다. 100% PURE AIR를 사용하면 생산공정 중에 제품의 사소한 오염도 방지할 수 있습니다.